一种干涉仪调制器、测量系统及测量方法
实质审查的生效
摘要

本申请公开了一种干涉仪调制器、测量系统及测量方法。系统包括发光组件、干涉仪调制器、时间延迟器和探测器。发光组件产生泵浦光和探测光。干涉仪调制器设置在泵浦光的传输光路上,对泵浦光进行幅度调制;干涉仪调制器包括干涉组件和相位差调节组件。时间延迟器接收泵浦光或探测光,使泵浦光脉冲和探测光脉冲之间的延迟时间可调。探测器获取多个延迟时间下探测光经待测物反射形成的信号光,根据信号光获取探测信息。由于干涉仪调制器的成本远低于声光调制器和电光调制器,因此应用干涉仪调制器在测量系统中对泵浦光进行幅度调制能够节约成本。同时,相比于声光调制器和电光调制器,干涉仪调制器具有较强的稳定性,并保证了较高的光利用率。

基本信息
专利标题 :
一种干涉仪调制器、测量系统及测量方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114543685A
申请号 :
CN202011328905.3
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2020-11-24
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
陈鲁白园园马砚忠张嵩
申请人 :
深圳中科飞测科技股份有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301
代理机构 :
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 :
赵晓荣
优先权 :
CN202011328905.3
主分类号 :
G01B11/06
IPC分类号 :
G01B11/06  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B11/06
用于计量厚度
法律状态
2022-06-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/06
申请日 : 20201124
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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