本发明涉及一种电光相位调制器射频参数的测量方法与装置，用于解决电光相位调制器的射频参数测量过程中相位不可直接测量以及相位抖动问题，包括激光器、保偏光纤分路器、待测电光相位调制器、相位调节器、保偏光纤耦合器、分光器、光电探测器和MZ干涉环路相位稳定控制电路、矢量网络分析仪。相位调节器用于对光载波相位进行调节，待测电光相位调制器对光载波进行调制，两路信号经耦合后经过分光器分成两束，一束光经光电转换后进入矢量网络分析仪，另一束进入MZ控制电路，与相位调节器构成环路，实现对测量过程中由于光纤长度、温度、环境等的影响引起的相位抖动的补偿及控制，进而更准确地对待测电光相位调制器的射频参数进行测量。