外差光纤干涉仪位移测量系统及方法
授权
摘要
本发明提供一种外差光纤干涉仪位移测量系统及方法,其中的系统包括同时发射测量光和参考光的激光光源组件、基于第一单模光纤依次设置在测量光的光路上的第一光电探测器、第一光纤耦合器、光纤套圈、平凸透镜、第一偏振分光棱镜和反射装置,以及基于第二单模光纤依次设置在参考光的光路上的第二光电探测器、第二光纤耦合器、准直器、第二偏振分光棱镜和反射装置;其中,待测物体固定在反射装置上;对参考光和测量光进行处理,形成测量信号及参考信号,并根据测量信号及参考信号确定待测物体的位移信息。利用上述发明能够实现高精度的位移检测。
基本信息
专利标题 :
外差光纤干涉仪位移测量系统及方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112484648A
申请号 :
CN202011297064.4
公开(公告)日 :
2021-03-12
申请日 :
2020-11-18
授权号 :
CN112484648B
授权日 :
2022-06-10
发明人 :
孙国华程朝奎郭升莉
申请人 :
北京华卓精科科技股份有限公司
申请人地址 :
北京市大兴区经济技术开发区经海四路156号院10号楼4层
代理机构 :
北京鸿元知识产权代理有限公司
代理人 :
王迎
优先权 :
CN202011297064.4
主分类号 :
G01B11/02
IPC分类号 :
G01B11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2022-06-10 :
授权
2021-11-26 :
著录事项变更
IPC(主分类) : G01B 11/02
变更事项 : 申请人
变更前 : 北京华卓精科科技股份有限公司
变更后 : 北京华卓精科科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100176 北京市大兴区经济技术开发区经海四路156号院10号楼4层
变更后 : 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层(北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团)
变更事项 : 申请人
变更前 : 北京华卓精科科技股份有限公司
变更后 : 北京华卓精科科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100176 北京市大兴区经济技术开发区经海四路156号院10号楼4层
变更后 : 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层(北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团)
2021-03-30 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/02
申请日 : 20201118
申请日 : 20201118
2021-03-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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