非接触式激光调频光纤位移测量仪
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
一种非接触式激光调频光纤位移测量仪，属于机械精密测量领域，特别是属于对位移量、振动的精密测量。本发明采用半导体激光光源，光束经锯齿波调制，由光纤传输，通过参考光与探测光的相位比较得到位移量。本发明体积小、重量轻，线性动态范围大，可抗电磁干扰和抗振动，精度达0.04μm，可用于静态或动态测量，测量结果可数字化处理，便于与计算机联网。
基本信息
专利标题 ：
非接触式激光调频光纤位移测量仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1042414A
申请号 ：
CN88107425.X
公开（公告）日 ：
1990-05-23
申请日 ：
1988-11-03
授权号 ：
CN1013304B
授权日 ：
1991-07-24
发明人 ：
田芊徐左李达成谢巍
申请人 ：
清华大学
申请人地址 ：
北京市海淀区清华园
代理机构 ：
清华大学专利事务所
代理人 ：
廖元秋
优先权 ：
CN88107425.X
主分类号 ：
G01B11/02
IPC分类号 ：
G01B11/02
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
1993-09-08 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1992-03-04 ：
授权
1991-07-24 ：
审定
1990-05-23 ：
公开
1989-04-05 ：
实质审查请求
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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