光学位移测量仪
专利权的终止专利权有效期届满
摘要
光学位移测量仪包含一个用作标度尺的可移动的衍射光栅；一个半导体激光器(1)：光检测器(10，11)和能使被上述衍射光栅衍射的两光束互相干涉的装置(2，4，5，6，7)，有了这种装置，就能根据干涉信号的变化检测出上述衍射光栅内的不规则性。激光器的输出具有适当的相干性，能有选择地使具有相同光通路长度的两光束彼此互相干涉。
基本信息
专利标题 ：
光学位移测量仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN85102930A
申请号 ：
CN85102930.2
公开（公告）日 ：
1986-10-08
申请日 ：
1985-04-13
授权号 ：
CN1005217B
授权日 ：
1989-09-20
发明人 ：
谷口佳代子土谷秀树外山正明
申请人 ：
索尼磁尺株式会社
申请人地址 ：
日本东京都品川区西五反田3丁目9番17号东洋大厦
代理机构 ：
上海专利事务所
代理人 ：
杨国胜
优先权 ：
CN85102930.2
主分类号 ：
G01B9/02
IPC分类号 ：
G01B9/02 G02B11/00 G02B27/44
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/02
干涉仪
法律状态
2000-12-06 ：
专利权的终止专利权有效期届满
1990-04-25 ：
授权
1989-09-20 ：
审定
1986-10-08 ：
公开
1986-07-09 ：
实质审查请求
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
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2、
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