光学式位移检测装置
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
一种光学式位移检测装置，包括一个主标尺和一个指示标尺，主标尺上第一光栅的间距为P，指示标尺上第二光栅的间距为P/n，从而产生间距为P/n的分度检测信号。此外，第二光栅的间距调定为(u+v)P/u或(u+v)P/(2u)(u是浸射性光源与第一光栅间的距离，V是两个光栅间的距离)，从而可不用准直透镜。此外还用了第一光栅的较高次谐波分量，因而将第二光栅的间距调定在大致为(u+v)Q/u或(u+v)Q/(2u)(Q＝P/m，m为等于或大于2的整数)，从而避免将第二光栅的间距分成更小的分度。
基本信息
专利标题 ：
光学式位移检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN87106274A
申请号 ：
CN87106274.7
公开（公告）日 ：
1988-02-24
申请日 ：
1987-08-15
授权号 ：
CN1013705B
授权日 ：
1991-08-28
发明人 ：
市川宗次
申请人 ：
株式会社三丰制作所
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
中国专利代理有限公司
代理人 ：
张志醒
优先权 ：
CN87106274.7
主分类号 ：
G01B11/04
IPC分类号 ：
G01B11/04
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B11/04
专用于物体移动时计量其长度或宽度
法律状态
2005-10-12 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
2002-03-20 ：
其他有关事项
1992-05-20 ：
授权
1991-08-28 ：
审定
1989-07-19 ：
实质审查请求
1988-02-24 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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