光学位移传感器
专利权的终止专利权有效期届满
摘要
一种光学位移传感器，属于微小位移测量的光学仪器。本实用新型是一种非接触式光学位移传感器，其特点是不用辅助光学元件，而是采用离轴设置的象限分割光电探测器直接探测被测物的反射光。该仪器结构简单，装调方便，成本低廉。
基本信息
专利标题 ：
光学位移传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN89203856.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
1989-04-06
授权号 ：
CN2047780U
授权日 ：
1989-11-15
发明人 ：
巩马理潘龙法范易伟徐端颐
申请人 ：
清华大学
申请人地址 ：
北京市海淀区清华园
代理机构 ：
清华大学专利事务所
代理人 ：
廖元秋
优先权 ：
CN89203856.X
主分类号 ：
G01B11/02
IPC分类号 ：
G01B11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
1994-11-23 ：
专利权的终止专利权有效期届满
1990-08-15 ：
授权
1989-11-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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