准共光程外差干涉位移测量系统

专利权的终止

摘要

本发明公开了一种准共光程外差干涉位移测量系统，包含：一外差光源，分为一参考光与一信号光；一光栅，使该信号光入射该光栅而产生一绕射光；一偏极分光镜，使该绕射光分为一第一绕射光与一第二绕射光；一个以上偏振板，使该参考光穿过该些偏振板而产生一参考干涉光，且该第一绕射光穿过该些偏振板而产生一第一干涉光，而该第二绕射光穿过该些偏振板而产生一第二干涉光；一信号处理装置，量得该参考干涉光、该第一干涉光与该第二干涉光的相位差而可得该光栅的位移量。本发明具有外差干涉相位测量的高灵敏度，且具有光学架构不受外在环境扰动的高稳定性，以直接测量因位移所造成的相位变化量以达到高测量精度。

基本信息

专利标题：

准共光程外差干涉位移测量系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1991297A

申请号：

CN200510132985.4

公开（公告）日：

2007-07-04

申请日：

2005-12-31

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

许正治吴乾埼陈朝荣王振宇温博浚翁汉甫

申请人：

财团法人工业技术研究院

申请人地址：

中国台湾新竹县

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司

代理人：

梁挥

优先权：

CN200510132985.4

主分类号：

G01B9/02

IPC分类号：

G01B9/02 G01B11/02