微位移高精度实时干涉测量装置

专利权的主动放弃

摘要

一种微位移高精度实时干涉测量装置，包括由半导体激光器、准直扩束镜、分束器、参考平板、待测量物体和探测元件组成的泰曼格林干涉仪，其特点是：所述的探测元件的输出端依次串连接实时信号处理电路归一化电路和单片机，该单片机具有相位连续化处理软件，该单片机的输出端与示波器的输入端相连，直流电源和信号源通过调制器与所述的半导体激光器相连接，所述的信号源还与所述的实时信号处理电路相连接。本实用新型的优点是提高了位移测量精度，扩展测量范围，使用时不需要校正，操作简便，可靠性高。

基本信息

专利标题：

微位移高精度实时干涉测量装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720067118.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-02-07

授权号：

CN201016705Y

授权日：

2008-02-06

发明人：

何国田王向朝

申请人：

中国科学院上海光学精密机械研究所

申请人地址：

201800上海市800－211邮政信箱

代理机构：

上海新天专利代理有限公司

代理人：

张泽纯

优先权：

CN200720067118.1

主分类号：

G01B9/027

IPC分类号：

G01B9/027