一种超高精度位移测量装置
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种高精度位移测量装置，包括底座、气浮滑台、V型定位块、直线光栅传感器，其中底座上设有大理石导轨；气浮滑台设于底座的大理石导轨上；V型定位块设于所述气浮滑台上；气缸设于所述气浮滑台上；V型限位块与所述气缸的输出端连接，在气缸回拉时，所述V型限位块的V型凸出端能够与所述V型定位块的V型槽匹配对接；直线光栅传感器设于所述V型限位块上，所述直线光栅传感器能够实时获取与目标物表面之间的距离值。与现有技术相比，本发明通过V型定位块、V型限位块、气缸的相互配合，实现测量头的精准收放，显著提升了位移测量的精度。
基本信息
专利标题 ：
一种超高精度位移测量装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114485413A
申请号 ：
CN202111596178.3
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2021-12-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
许家兴
申请人 ：
上海羿弓精密科技有限公司
申请人地址 ：
上海市松江区九亭镇九亭中心路1158号6幢403室-4
代理机构 ：
上海科盛知识产权代理有限公司
代理人 ：
陈天宝
优先权 ：
CN202111596178.3
主分类号 ：
G01B11/02
IPC分类号 ：
G01B11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/02
申请日 : 20211224
申请日 : 20211224
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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