微机化干涉扫描微位移测量仪

专利权的终止未缴年费专利权终止

摘要

一种微机化干涉扫描微位移测量仪器，属于长度计量技术领域。本实用新型根据扫描干涉仪原理，采用三光束射入单一的法布里·白洛干涉仪，分别判别位移的方向、整数和小数，使测量量程提高了一倍。同时采用了压电扫描非线性补偿装置，光准直系统，光导纤维，斜光束干涉聚光镜，微膨胀合金结构和微机提高了精度和测量自动化。本实用新型可使量程达100微米，精度达0.005微米，可用于块规检定，物理量测试，地震研究及同步辐射实验。

基本信息

专利标题：

微机化干涉扫描微位移测量仪

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN89206552.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

1989-04-29

授权号：

CN2057744U

授权日：

1990-05-30

发明人：

钱石南冯焕清张志萍黄文浩施周宏阚娅

申请人：

中国科学技术大学

申请人地址：

安徽省合肥市金寨路96号

代理机构：

中国科学技术大学专利事务所

代理人：

童建安

优先权：

CN89206552.4

主分类号：

G01B11/02

IPC分类号：

G01B11/02