用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪

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摘要

本实用新型涉及形貌测量仪技术领域，具体地说，涉及一种用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪，其包括安装基台，安装基台的上表面的边缘处设有若干个沉孔，安装基台的正下方设有白光干涉系统安装座，白光干涉系统安装座内设有位于沉孔正下方的螺孔，沉孔内设有与螺孔相配合的螺栓，白光干涉系统安装座内设有用于转动螺栓的螺栓驱动机构。本实用新型不仅可以对物体表面的形貌进行测量，并且在形貌测量仪出现了故障之后可通过驱动机构转动螺栓使得白光干涉系统安装座脱离与安装基座的连接，方便了人们对于白光干涉系统安装座中的白光显微干涉光学系统进行检查，方便了对于该用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪的维护与安装，从而方便了日常的使用。

基本信息

专利标题：

用于大尺寸形貌测量仪的白光干涉仪

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921058734.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-07-09

授权号：

CN209857843U

授权日：

2019-12-27

发明人：

王孟哲吴洋梁正南李恩全

申请人：

宁波九纵智能科技有限公司

申请人地址：

浙江省宁波市慈溪市附海镇观附公路402号

代理机构：

杭州永曙知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

曹康华

优先权：

CN201921058734.X

主分类号：

G01B9/02

IPC分类号：

G01B9/02 G01B11/24 F16M11/20 F16M11/04