表面三维形貌非接触测量仪
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明涉及一种表面三维形貌非接触测量仪，属光学测量仪器，用于测量表面微观几何形貌及粗糙度，本测量仪主要由光源，起偏器，分光棱镜，显微物镜，1/4波片，检偏器，光电面阵探测器等组成，与已有技术相比，本发明的优点在于测量分辨率高，移相器件的结构简单，移相粗度较高，两束干涉光通过同一光路，受到外界干扰相同，对于涉光强影响较小、因此系统对机械振动和强度的影响不敏感，在一般生产环境中就可以使用本仪器。
基本信息
专利标题 ：
表面三维形貌非接触测量仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1051975A
申请号 ：
CN89108641.2
公开（公告）日 ：
1991-06-05
申请日 ：
1989-11-23
授权号 ：
CN1016895B
授权日 ：
1992-06-03
发明人 ：
薛实福李庆祥高宏严普强
申请人 ：
清华大学
申请人地址 ：
北京市海淀区清华园
代理机构 ：
清华大学专利事务所
代理人 ：
罗文群
优先权 ：
CN89108641.2
主分类号 ：
G01B11/30
IPC分类号 ：
G01B11/30 G01B9/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/275
••用于检测轮子准直度
G01B11/30
用于计量表面的粗糙度和不规则性
法律状态
1997-01-08 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1993-01-20 ：
授权
1992-06-03 ：
审定
1991-06-05 ：
公开
1990-04-04 ：
实质审查请求
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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