磁盘表面参数测量仪
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明涉及一种对磁盘盘片进行高精度、多种参数测量的表面参数测量仪，属测量仪器技术领域。本发明利用激光外差非接触测量方法，实现对磁盘盘片几何参数的测量。本仪器用气浮导轨驱动光学传感器作径向进给运动，用气浮轴承驱动被测磁盘盘片作回转运动，当被测盘片相对于光学传感器在垂直于测量轴的平面内作回转运动时，光学传感器沿导轨作径向运动，并对盘片作径向扫描，此时就获得整个盘片的信息。本测量仪可以同时对金属与非金属盘片进行盘片面形——平面度的测量，又能对中等规模轮廓波度及盘片外径至内径的轮廓进行测量。
基本信息
专利标题 ：
磁盘表面参数测量仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1055813A
申请号 ：
CN91103616.4
公开（公告）日 ：
1991-10-30
申请日 ：
1991-06-05
授权号 ：
CN1018761B
授权日 ：
1992-10-21
发明人 ：
曹芒李达成赵洋王佳
申请人 ：
清华大学
申请人地址 ：
100084北京市海淀区清华园
代理机构 ：
清华大学专利事务所
代理人 ：
罗文群
优先权 ：
CN91103616.4
主分类号 ：
G01B11/00
IPC分类号 ：
G01B11/00
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
法律状态
1994-07-06 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1993-06-23 ：
授权
1992-10-21 ：
审定
1991-10-30 ：
公开
1991-10-09 ：
实质审查请求已生效的专利申请
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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2、
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