本发明公开了一种基于垂直位移扫描的非接触式表面形貌测量方法及其装置，它采用计算机驱动工作台垂直位移来进行测量，并扫描和采集工作台垂直移动的距离作为测量数据，输入计算机中作为该X－Y－Z坐标上采集到的Z坐标，通过移动工作台，重复采集多个坐标的测量数据，经过计算机处理后即可得到测量的工件表面形貌。本发明将聚焦物镜位置固定，通过移动工作台来测量数据，大大提高了测量的精度。从而真正实现了高精度、大量程的非接触测量，并且具有速度快、性价比高的特点。本实用新型可对不同材料构件的轮廓尺寸、形状、波度及表面粗糙度的二、三维非接触式综合测量。