一种基于数字全息扫描的三维形貌测量装置及测量方法
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摘要

本发明公开了一种基于数字全息扫描的三维形貌测量装置及测量方法,包括移动测量装置和数字全息检测模块,数字全息检测模块包括一激光器,激光器出射激光束面上设有半透半反棱镜,在半透半反棱镜和激光器之间设置有空间滤波器;在半透半反棱镜半透射方向设置有一块波长选择分光棱镜,波长选择分光棱镜上方设有一激光测距仪;在半透半反棱镜上下分别设有一CCD/CMOS光电耦合器和一平面反射镜,波长选择分光棱镜的反射光路上设有待测工件。该装置通过对子测量区域三维模型进行激光测距和图像拼接,得到大型工件表面的三维形貌,记录实测,可快速重建工件表面的三维形貌,降低了仪器对移动测量装置运动精度的要求。

基本信息
专利标题 :
一种基于数字全息扫描的三维形貌测量装置及测量方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN106643550A
申请号 :
CN201611083310.X
公开(公告)日 :
2017-05-10
申请日 :
2016-11-30
授权号 :
CN106643550B
授权日 :
2022-06-14
发明人 :
姚震吴易明樊鹏格朱帆尹逊龙
申请人 :
西安中科光电精密工程有限公司
申请人地址 :
陕西省西安市高新区锦业路69号创新商务公寓3幢11908室
代理机构 :
西安通大专利代理有限责任公司
代理人 :
陆万寿
优先权 :
CN201611083310.X
主分类号 :
G01B11/24
IPC分类号 :
G01B11/24  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2022-06-14 :
授权
2017-06-06 :
实质审查的生效
号牌文件类型代码 : 1604
号牌文件序号 : 101724561387
IPC(主分类) : G01B 11/24
专利申请号 : 201611083310X
申请日 : 20161130
2017-05-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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