一种数字全息表面三维形貌测量系统及成像仪
授权
摘要
本发明提供了一种数字全息表面三维形貌测量系统及成像仪,其设置的物镜模块接口,在不装配任何物镜模块时,可以实现厘米级视场下的微米级精度表面三维结构成像。当对应于部分细胞成像和MEMS系统成像等其它实际情况成像需求时,在物镜模块接口上装配不同的物镜模块,来满足不同的横向分辨率需求和视场范围需求。并且,该数字全息表面三维形貌测量系统中设置的自聚集模块,可以实时调整焦距以及成像视场尺寸,以改变平面分辨率,适应更多应用场景的测量需求,并且,该数字全息表面三维形貌测量系统包含了单波长数字全息显微成像模式、双波长数字全息显微成像模式和多波长数字全息显微成像模式,其通过切换不同光源模块,可以改变轴向分辨率。
基本信息
专利标题 :
一种数字全息表面三维形貌测量系统及成像仪
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111780684A
申请号 :
CN202010656381.4
公开(公告)日 :
2020-10-16
申请日 :
2020-07-09
授权号 :
CN111780684B
授权日 :
2022-05-13
发明人 :
王喆邹如飞
申请人 :
北京钛极科技有限公司
申请人地址 :
北京市朝阳区广渠门外大街8号东座905
代理机构 :
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 :
李晓光
优先权 :
CN202010656381.4
主分类号 :
G01B11/24
IPC分类号 :
G01B11/24
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2022-05-13 :
授权
2020-11-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/24
申请日 : 20200709
申请日 : 20200709
2020-10-16 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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