表面形貌检测系统
公开
摘要
本申请提供一种表面形貌检测系统，包含光源、第一分光镜、待测端物镜、参考端物镜、空间光调制器以及检测模块。所述光源用以提供标准光线。所述第一分光镜用以将标准光线分成第一光线与第二光线。所述待测端物镜用以将第一光线投射于待测表面，并接收待测表面反射的测试光线。所述参考端物镜用以将第二光线投射于参考表面，并接收参考表面反射的参考光线。所述空间光调制器用以接收参考光线，并依据修正参数修正参考光线。所述检测模块用以比对测试光线与修正后的参考光线，以计算待测表面的表面形貌。其中修正参数关联于待测端物镜与参考端物镜之间的镜头像差。
基本信息
专利标题 ：
表面形貌检测系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114577136A
申请号 ：
CN202011369351.1
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2020-11-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张玮刚杨兰昇
申请人 ：
致茂电子（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州高新区珠江路855号（第七号厂房）
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
郭化雨
优先权 ：
CN202011369351.1
主分类号 ：
G01B11/24
IPC分类号 ：
G01B11/24
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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