一种形貌信息检测系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种形貌信息检测系统，该形貌信息检测系统，包括：受测样品载体，用于放置受测样品；形貌信息检测装置，包括微型力敏感元件，用于检测所述受测样品的形貌信息；除静电装置，用于消除所述微型力敏感元件与所述受测样品之间的静电；控制器，分别与所述形貌信息检测装置、所述除静电装置连接，与所述形貌信息检测装置、所述除静电装置连接，用于控制所述除静电装置和所述形貌信息检测装置分别进行除静电和形貌信息检测操作。通过设置除静电装置，对形貌检测装置与受测样品之间的静电进行消除，避免了形貌信息检测装置与受测样品之间的静电对形貌检测结果的影响，提高了形貌检测结果的准确性以及形貌检测效率。
基本信息
专利标题 ：
一种形貌信息检测系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921623978.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-26
授权号 ：
CN210742302U
授权日 ：
2020-06-12
发明人 ：
李玲李嘉琳吴昊刘瑞田亮李永平赛朝阳潘艳
申请人 ：
全球能源互联网研究院有限公司
申请人地址 ：
北京市昌平区未来科技城滨河大道18号
代理机构 ：
北京三聚阳光知识产权代理有限公司
代理人 ：
林韵英
优先权 ：
CN201921623978.8
主分类号 ：
G01Q60/38
IPC分类号 ：
G01Q60/38
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01Q
扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术
G01Q60/00
特殊类型的SPM或其设备；其基本组成
G01Q60/24
AFM或其设备，例如AFM探针
G01Q60/38
探针，其制造或有关的使用仪器，例如支撑物
法律状态
2020-06-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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