多光谱微观三维形貌检测装置

授权

摘要

本实用新型涉及一种多光谱微观三维形貌检测装置，该装置包括：复色光照明模块、纵向色散增强型光学成像模块，所述复色光照明模块按照光路传播方向依次设置有：复色光源、聚光镜、均匀准直光透镜组、半反半透分光镜、带纵向色散的物镜；所述纵向色散增强型光学成像模块按照光路传播方向依次设置有：轴向高度可调节样品台、带纵向色散的物镜、半反半透分光镜、带纵向色散的管镜、多光谱图像传感器、图像显示与分析模块。该多光谱微观三维形貌检测装置能实现在无机械运动情况下，一次成像即可获取高横向分辨率、亚微米量级高纵向测量精度、毫米量级大纵向测量范围的微观三维形貌检测，兼具高测量效率和高测量精度。

基本信息

专利标题：

多光谱微观三维形貌检测装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922043481.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-21

授权号：

CN210741401U

授权日：

2020-06-12

发明人：

叶一青易定容孔令华蒋威朱星星

申请人：

宁波五维检测科技有限公司

申请人地址：

浙江省宁波市鄞州区启明路655-77号

代理机构：

成都时誉知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

王杰

优先权：

CN201922043481.5

主分类号：

G01B11/24

IPC分类号：

G01B11/24