一种叶片表面缺陷形貌检测装置

授权

摘要

本实用新型公开了一种叶片表面缺陷形貌检测装置，包括支撑架、固定座、计算机显示屏、扫描支撑座、SPM单元、计算机主机，所述计算机显示屏安装于固定座上，且固定座放置于支撑架的顶部，所述计算机主机安装于支撑架的内侧，且计算机主机和计算机显示屏通过导线连接，所述支撑架的内侧面延伸设置有放置架，所述SPM单元置于放置架内，所述扫描支撑座置于支撑架的顶部，并位于计算机显示屏的一侧；本实用新型的有益效果是：通过设计的稳固组件，起到对扫描支撑座的稳固支撑，提高了扫描支撑座放置在支撑架上快速稳固的效率；通过设计的支撑活动机构，实现水平板的快速抽拉，从而更快捷的对SPM单元检修，提高了对SPM单元检修的效率。

基本信息

专利标题：

一种叶片表面缺陷形貌检测装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020533803.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-13

授权号：

CN211856643U

授权日：

2020-11-03

发明人：

许斌

申请人：

南京市梵天精测科技有限公司

申请人地址：

江苏省南京市江北新区星火路9号软件大厦B座3层308室

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202020533803.4

主分类号：

G01Q70/02

IPC分类号：

G01Q70/02 G01Q30/00 G01Q40/00