表面形貌检测方法
授权
摘要
本发明提供一种表面形貌检测方法，所述方法包含下列步骤。首先，提供测试光线，测试光线用以测量对象的表面形貌。于测试光线的光学路径上，提供空间光调制器，空间光调制器具有多个像素。控制空间光调制器，于第一时间区间开启所述多个像素中的第一像素群组，于第二时间区间开启所述多个像素中的第二像素群组。其中第一像素群组与第二像素群组分别对应部分的所述多个像素，且第一像素群组与第二像素群组之间有第一重复像素。
基本信息
专利标题 ：
表面形貌检测方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111220087A
申请号 ：
CN201811415140.X
公开（公告）日 ：
2020-06-02
申请日 ：
2018-11-26
授权号 ：
CN111220087B
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
张群伟
申请人 ：
致茂电子（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州高新区珠江路855号（第七号厂房）
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
王宝筠
优先权 ：
CN201811415140.X
主分类号 ：
G01B11/24
IPC分类号 ：
G01B11/24 G01N21/95 G01N21/01
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2022-06-14 ：
授权
2020-06-26 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/24
申请日 : 20181126
申请日 : 20181126
2020-06-02 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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