一种表面形貌图的暗点区域的修补方法，表面形貌图是以白光干涉的形貌测量方法测量，形貌测量方法是以宽频光源照射一待测物体表面与一参考面，并以一定步幅改变所述的待测物体表面与所述的参考面的相对距离，以产生一系列的干涉影像，相对于所述的表面形貌图的各个像素，分别产生一高度值对应于光强度的干涉图谱，其特征在于，所述的修补方法至少包括下列步骤：依据所述的干涉图谱，确认所述的干涉图谱所对应的像素是否是暗点；标示所述的暗点；以及利用所述的暗点周围的正常像素修补所述的暗点。本发明可以有效修补暗点，不会有如传统修补方法中因欠缺暗点区域的位置与特性的相关数据，而产生导致暗点修补效果不佳的问题。