周期纳米结构形貌参数测量方法、装置、设备及介质

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摘要

本发明提供了一种周期纳米结构形貌参数测量方法、装置、设备及介质，其方法包括：确定周期纳米结构的当前形貌参数；基于所述当前形貌参数，获取所述周期纳米结构的当前测量信号以及当前仿真信号；根据所述当前测量信号和所述当前仿真信号确定所述当前形貌参数是否为目标形貌参数；当所述当前形貌参数不是所述目标形貌参数时，基于鲁棒非线性修正方法，根据所述当前形貌参数、所述当前测量信号和所述当前仿真信号确定备选形貌参数；根据所述备选形貌参数确定所述目标形貌参数。本发明通过基于鲁棒非线性修正方法确定备选形貌参数，可有效抑制当前测量信号中的显著偏离正态统计分布中的数据点，进而提高获得的目标形貌参数的准确性。

基本信息

专利标题：

周期纳米结构形貌参数测量方法、装置、设备及介质

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN114234845A

申请号：

CN202210165655.9

公开（公告）日：

2022-03-25

申请日：

2022-02-23

授权号：

CN114234845B

授权日：

2022-05-24

发明人：

吴启哲李泽迪赵杭

申请人：

板石智能科技（深圳）有限公司

申请人地址：

广东省深圳市福田区福田街道福安社区民田路178号华融大厦1712-E15

代理机构：

武汉智嘉联合知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

黄君军

优先权：

CN202210165655.9

主分类号：

G01B11/24

IPC分类号：

G01B11/24 G06F30/398 G06F111/14