基于启发式搜索的周期纳米结构形貌参数测量方法及装置
授权
摘要
本发明提供了一种基于启发式搜索的周期纳米结构形貌参数测量方法及装置，其方法包括：获取待测周期纳米结构的测量信号；基于待测周期纳米结构的三维形貌参数设计值以及光学散射特性建模方法构建仿真信号数据库和雅克比矩阵数据库；建立启发式搜索模型，并基于启发式搜索模型、仿真信号数据库、雅克比矩阵数据库确定与测量信号对应的目标仿真信号；基于仿真信号数据库确定与目标仿真信号对应的目标三维形貌参数离散值，并将目标三维形貌参数离散值作为待测周期纳米结构的三维形貌参数。本发明通过启发式搜索，在保证周期纳米结构形貌参数测量准确性的同时，可极大提升测量周期纳米结构形貌参数的效率。
基本信息
专利标题 ：
基于启发式搜索的周期纳米结构形貌参数测量方法及装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114322836A
申请号 ：
CN202210264445.5
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2022-03-17
授权号 ：
CN114322836B
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
吴启哲李泽迪赵杭
申请人 ：
板石智能科技（深圳）有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市福田区福田街道福安社区民田路178号华融大厦1712-E15
代理机构 ：
武汉智嘉联合知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
黄君军
优先权 ：
CN202210264445.5
主分类号 ：
G01B11/24
IPC分类号 ：
G01B11/24 G06F30/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2022-05-27 ：
授权
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/24
申请日 : 20220317
申请日 : 20220317
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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