用于测量三维形貌的测量装置
授权
摘要
本实用新型提供一种用于测量三维形貌的测量装置，其包括：样品载台，用于承载样品，所述样品载台能够旋转及移动；第一测量组件，用于实现第一测量方法；第二测量组件，用于实现第二测量方法；处理器，用于存储理论光谱数据库、根据所述第一测量组件的测量结果获得所述样品的测量区域的第一类型参数、根据所述第二测量组件的测量结果获得所述样品的测量区域的测量光谱、及将所述测量光谱与所述第一类型参数对应的理论光谱进行匹配，获得所述样品的测量区域的轮廓参数，进而得到所述样品的测量区域的三维形貌。其优点在于，实现对样品的三维形貌的精确快速的测量。
基本信息
专利标题 ：
用于测量三维形貌的测量装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921090385.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-12
授权号 ：
CN210089643U
授权日 ：
2020-02-18
发明人 ：
黄鑫
申请人 ：
长鑫存储技术有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市蜀山区经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
代理机构 ：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
孙佳胤
优先权 ：
CN201921090385.X
主分类号 ：
G01B15/04
IPC分类号 ：
G01B15/04 G01B11/24
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B15/00
以采用波或粒子辐射为特征的计量设备
G01B15/04
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2020-02-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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