用于测量表面形貌的设备和方法以及校准方法
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摘要

用于测量表面形貌的设备和方法以及校准方法。本发明涉及用于测量物体(12)的光学有效面(18)的形貌和/或梯度和/或曲率的方法和设备(10)。该设备(10)能够实现以能够贴靠在该物体(12)上的接触部(17)将该物体(12)安排在接收范围(14)内。在该设备(10)中具有提供光的多个点光源(20),该光被反射到安排在该接收范围(14)内的物体的待测量的面(18)上。该设备(10)具有至少一个相机(34),该相机具有物镜组件(40)和图像传感器(46)用于采集亮度分布,该亮度分布在图像传感器(46)上由点光源(20)的反射到该待测量的面(18)上的光引起。

基本信息
专利标题 :
用于测量表面形貌的设备和方法以及校准方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111595269A
申请号 :
CN202010494176.2
公开(公告)日 :
2020-08-28
申请日 :
2017-04-07
授权号 :
CN111595269B
授权日 :
2022-05-24
发明人 :
L.奥姆洛尔C.格拉泽纳普
申请人 :
卡尔蔡司股份公司
申请人地址 :
德国巴登-符腾堡州上科亨
代理机构 :
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 :
卢江
优先权 :
CN202010494176.2
主分类号 :
G01B11/25
IPC分类号 :
G01B11/25  G01B21/04  G03B3/04  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
G01B11/25
通过在物体上投影一个图形,例如莫尔条纹
法律状态
2022-05-24 :
授权
2020-09-22 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/25
申请日 : 20170407
2020-08-28 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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