一种表面微观形貌测量传感器
授权
摘要
本实用新型公开一种表面微观形貌测量传感器，用于测量待测工件表面的形貌，包括：触针，用于测量微观形貌；触针轴，一端与所述触针连接，用于在所述触针测量微观形貌时跟随所述触针进行上下移动；磁恒力模块，与所述触针轴的另一端连接，用于调节所述触针与待测工件之间的测量力；触针轴气浮模块，环绕在所述触针轴外围，用于使所述触针轴悬浮；位移测量模块，设置在所述触针轴的正上方，用于测量所述触针轴在垂直方向上的位移。本实用新型通过触针轴气浮模块在触针轴外表面形成气隙，保证触针轴悬浮且摩擦最小，提高了触针测量的精度。通过磁恒力模块可调整触针与待测工件之间的测量力，以使触针将工件表面形貌更真实的传递给传感器。
基本信息
专利标题 ：
一种表面微观形貌测量传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020562698.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-16
授权号 ：
CN211696278U
授权日 ：
2020-10-16
发明人 ：
施玉书张树皮磊史舟淼高思田李伟李琪李适黄鹭
申请人 ：
中国计量科学研究院
申请人地址 ：
北京市朝阳区北三环东路18号
代理机构 ：
北京高沃律师事务所
代理人 ：
刘凤玲
优先权 ：
CN202020562698.7
主分类号 ：
G01B11/30
IPC分类号 ：
G01B11/30 G05D15/01
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/275
••用于检测轮子准直度
G01B11/30
用于计量表面的粗糙度和不规则性
法律状态
2020-10-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
