大视场微观3D形貌多通道测量装置
授权
摘要
本实用新型具体涉及一种大视场微观3D形貌多通道测量装置，该装置包括：复色光照明模块、纵向色散增强型光学成像模块、多通道光谱灰度图像采集模块、高精度三轴载物台、图像分析与载物台控制模块。该装置能实现一次自动聚焦后，在无载物台轴向运动的情况下，完成样本大视场微观3D形貌测量，具有高横向分辨率、高纵向测量精度、毫米量级纵向测量范围、英寸级大视场横向测量范围的微观3D形貌测量的优点。
基本信息
专利标题 ：
大视场微观3D形貌多通道测量装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922058123.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-25
授权号 ：
CN210741402U
授权日 ：
2020-06-12
发明人 ：
叶一青易定容孔令华蒋威朱星星
申请人 ：
宁波五维检测科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市鄞州区启明路655-77号
代理机构 ：
成都时誉知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王杰
优先权 ：
CN201922058123.1
主分类号 ：
G01B11/24
IPC分类号 ：
G01B11/24
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2020-06-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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