多光谱大视场微观三维形貌测量装置
授权
摘要
本实用新型具体涉及一种多光谱大视场微观三维形貌测量装置，该装置包括：复色光照明模块、纵向色散增强型光学成像模块、图像分析与载物台控制模块，其中，所述图像分析与载物台控制模块包括多光谱图像传感器、图像分析与载物台控制系统、高精度三轴载物台该装置能实现一次自动聚焦后，在无载物台轴向运动的情况下，完成样本大视场微观三维形貌测量。该装置能实现高横向分辨率、高纵向测量精度、毫米量级纵向测量范围、英寸级大视场横向测量范围的微观三维形貌测量。
基本信息
专利标题 ：
多光谱大视场微观三维形貌测量装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922049432.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-22
授权号 ：
CN210603219U
授权日 ：
2020-05-22
发明人 ：
蒋威易定容叶一青孔令华朱星星
申请人 ：
宁波五维检测科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市鄞州区启明路655-77号
代理机构 ：
成都时誉知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王杰
优先权 ：
CN201922049432.2
主分类号 ：
G01B11/24
IPC分类号 ：
G01B11/24
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2020-05-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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