一种基于表面微观三维形貌的最小加工余量预测方法
授权
摘要
本发明公开了一种基于表面微观三维形貌的最小加工余量预测方法，首先将需要加工的样品在提前设定好参数的白光干涉仪上进行三维形貌的检测，得到三维形貌检测图和测量数据，对每个测量区域得到的测量数据均进行表面重构并分别计算重构后每个测量区域表面最高点和最低点之间的材料体积V，取所有测量区域的材料体积的平均值，作为需要去除的材料余量体积V1，根据测量区域的面积以及需要去除的材料余量体积V1计算得到整个加工区域需要去除的材料体积。本发明提供的预测方法能对精密超精密加工中下一道材料需要去除的材料体积进行预测，还能用于光电、半导体材料加工流程中研磨、磨削等工序加工量的预估，应用范围广。
基本信息
专利标题 ：
一种基于表面微观三维形貌的最小加工余量预测方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111633559A
申请号 ：
CN202010515340.3
公开（公告）日 ：
2020-09-08
申请日 ：
2020-06-08
授权号 ：
CN111633559B
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
闫宁陆静赵延军徐西鹏姜峰王宁昌徐帅吴晓磊
申请人 ：
郑州磨料磨具磨削研究所有限公司;华侨大学
申请人地址 ：
河南省郑州市高新区梧桐街121号
代理机构 ：
郑州联科专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
彭星
优先权 ：
CN202010515340.3
主分类号 ：
B24B49/12
IPC分类号 ：
B24B49/12 B24B51/00 G01B11/24 G01B11/30
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B49/00
用于控制磨具或工件进给运动的测量或校准装置；指示或测量装置的布置，如用于指示磨削加工开始的
B24B49/12
使用光学装置
法律状态
2022-06-07 ：
授权
2020-10-02 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 49/12
申请日 : 20200608
申请日 : 20200608
2020-09-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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