本申请提供一种氧化镓衬底表面研磨形貌预测方法和装置，获取待测氧化镓衬底远离抛光垫的一面的均布载荷，将均布载荷输入有限元模型，获得待测氧化镓衬底与抛光垫之间的接触压力，根据接触压力、研磨粒子的浓度、待测氧化镓衬底的硬度、研磨粒子的直径、研磨系数、研磨转速、研磨时间、氧化镓衬底的面积计算得到待测氧化镓衬底的研磨去除率，根据氧化镓衬底的研磨去除率、氧化镓衬底的各部分的原高度和氧化镓衬底研磨后的平均高度计算得到氧化镓衬底表面的算术平均粗糙度。从而实现了对氧化镓衬底表面研磨形貌的预测，根据预测结果可及时调整以指导实际研磨工艺，降低工艺试错成本，得到平坦性较好的表面，减少浪费，缩短从设计到制造的周期。