本发明涉及研磨技术领域，公开一种表面研磨方法、工件、沉积设备和研磨站。该表面研磨方法包括：提供研磨装置，研磨装置包括连接臂、研磨头承载装置和研磨头，研磨头承载装置包括能够进行摆动的承载板，研磨头安装在承载板上，研磨头包括能够转动的研磨盘组件；研磨时，连接臂移动以使得研磨盘组件接触待研磨表面，承载板进行摆动以带动研磨头摆动，同时研磨盘组件转动，并且连接臂移动以带动研磨头承载装置沿着待研磨表面以预定移动路径移动，以使得研磨盘组件对待研磨表面进行研磨作业，以能够进行自动化研磨，使得表面均匀性和生产效率都能得到质的提升，使得表面的光泽度、粗糙度都能有效达到特定要求，同时品质重现性良好，返工率显著降低。