一种用于纳米材料成像的表面形貌测量系统
公开
摘要
本发明公开一种用于纳米材料成像的表面形貌测量系统。SPR传感器跟随扫描平台在控制器的控制下对待测材料进行逐步扫描，金属薄膜与待测材料之间的空气层被视作SPR传感器耦合结构的一部分，待测材料的表面形貌对表面等离子体共振现象产生影响，由SPR传感器将每一步的反射图谱传送给上位机，上位机将反射图谱中的表面等离子共振信号提取出来，通过数据分析完成对待测材料的表面形貌重构。该表面形貌测系统能够实现对样品的高精度、高分辨率的非接触无损检测。
基本信息
专利标题 ：
一种用于纳米材料成像的表面形貌测量系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114562963A
申请号 ：
CN202210204932.2
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2022-03-02
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
杨志韬吴亚
申请人 ：
哈尔滨理工大学
申请人地址 ：
黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路52号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202210204932.2
主分类号 ：
G01B11/30
IPC分类号 ：
G01B11/30 G01B11/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/275
••用于检测轮子准直度
G01B11/30
用于计量表面的粗糙度和不规则性
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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