本发明公开了一种光学参数与形貌同时测量的装置。该装置包括第一光路组件和第二光路组件。第一光路组件用于将第一光源光垂直照射到待测物品上，并将第一光源光经待测物品反射出的光线至少分为两束光；检测两束光中的一束光的光强；感应两束光中的另一束光，处理生成图像。第二光路组件用于将线偏振光斜射在待测物品上；改变线偏振光经待测物品反射后的光线的偏振方向，并输出偏振光；检测偏振光的光强。其中，线偏振光斜射在待测物品上被第一分光器垂直照射的位置。通过上述方式，本发明能够同时进行待测物品的反射特性和表面形貌的测量，也可进一步测试待测物品的椭偏特性，并且测量装置结构简单。