一种纳米级三维形貌测量仪
授权
摘要
本实用新型涉及形貌测量仪技术领域，具体地说，涉及一种纳米级三维形貌测量仪。其包括载物台，载物台包括正方体状的载物台主体，载物台主体上表面设有正方形状的运动机构安装槽；运动机构安装槽内设有运动机构，运动机构包括相互正交设置的第一横向位移机构和第二横向位移机构；第一横向位移机构和第二横向位移机构同时与一工件台配合。本实用新型结构较为简单，能够较佳地实现对待测工件的在平面的位置移动。
基本信息
专利标题 ：
一种纳米级三维形貌测量仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921058649.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-09
授权号 ：
CN209961179U
授权日 ：
2020-01-17
发明人 ：
王孟哲吴洋梁正南李恩全
申请人 ：
宁波九纵智能科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市慈溪市附海镇观附公路402号
代理机构 ：
杭州永曙知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
曹康华
优先权 ：
CN201921058649.3
主分类号 ：
G01B11/24
IPC分类号 ：
G01B11/24
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2020-01-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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