基于负反馈锁相振动抑制的微小球体表面形貌检测装置
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摘要

本发明的基于负反馈锁相振动抑制的微小球体表面形貌检测装置,涉及一种光学小球表面检测装置,目的是为了克服现有时域移相点衍射干涉测量方法对于环境振动引入的随机误差较为敏感,存在一定量的残余误差的问题,包括第一激光器、第二激光器、第一λ/2波片、第二λ/2波片、第三λ/2波片、直角反射镜、偏振分光棱镜、第一角锥棱镜、第二角锥棱镜、第三角锥棱镜、锁相移相器、平面反射镜、第一二向色镜、4f系统、第一显微物镜、针孔反射镜、D形反射镜、第一准直透镜、λ/4波片、第二显微物镜、被测微球、第二准直透镜、检偏器、第二二向色镜、第一单色滤光片、面阵相机、第二单色滤光片和随机移相量检测装置。

基本信息
专利标题 :
基于负反馈锁相振动抑制的微小球体表面形貌检测装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112964197A
申请号 :
CN202110307642.6
公开(公告)日 :
2021-06-15
申请日 :
2021-03-23
授权号 :
CN112964197B
授权日 :
2022-04-29
发明人 :
卢丙辉刘国栋刘炳国庄志涛陈凤东甘雨路程
申请人 :
哈尔滨工业大学
申请人地址 :
黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
代理机构 :
哈尔滨华夏松花江知识产权代理有限公司
代理人 :
杨晓辉
优先权 :
CN202110307642.6
主分类号 :
G01B11/24
IPC分类号 :
G01B11/24  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2022-04-29 :
授权
2021-07-02 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/24
申请日 : 20210323
2021-06-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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