基于表面波定向性检测亚波长介质纳米线形貌的检测装置
公开
摘要
本发明公开了一种基于表面波定向性检测亚波长介质纳米线形貌的检测装置，包括：光源、偏振调制器件、亚波长介质纳米线、介质基底、油镜物镜、偏振分离器件以及后焦面探测器；经过偏振调制器件调制的入射光与亚波长介质纳米线相互作用后能在介质基底激发定向传输的表面波，如玻璃表面的衰逝场和多层介质膜基底表面的布洛赫表面波。表面波具有以横向波矢大于k0在表面传播的同时向基底泄露的特点，在基片下用高数值孔径油镜物镜能收集到信号并在后焦面成像。偏振分离器件能更有效地将需要的偏振信号分离出来，减小背景噪声的同时提取散射信号。本发明具有与光源功率稳定性无关、分辨率高、能够多维信息提取和无损测量的优点。
基本信息
专利标题 ：
基于表面波定向性检测亚波长介质纳米线形貌的检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114577121A
申请号 ：
CN202210495830.0
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2022-05-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
唐西张斗国
申请人 ：
中国科学技术大学
申请人地址 ：
安徽省合肥市包河区金寨路96号
代理机构 ：
北京科迪生专利代理有限责任公司
代理人 ：
江亚平
优先权 ：
CN202210495830.0
主分类号 ：
G01B11/02
IPC分类号 ：
G01B11/02 G01B11/00 G01B11/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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