一种线聚焦差动彩色共焦三维表面形貌测量系统
授权
摘要
本实用新型涉及一种线聚焦差动彩色共焦三维表面形貌测量系统，将不同波长的光聚焦于被测物表面，通过两个光谱相机接收被测物表面的反射光，得到两个同视场下沿狭窄照明线方向即X方向上每一点Xn光谱响应强度随高度Z变化的曲线；然后基于彩色共焦理论与差动三维检测原理融合得到被测物点在光轴方向高度Z，综合光轴方向高度Z与垂直光轴方向二维坐标信息重构被测物表面的三维形貌。本实用新型仅需一次成像即可完成对被测量物被照线区域内的高度信息提取，高度信息通过任意两光谱探测器光强差异计算获得，保证其超精密纳米精度测量；实现透明样品膜厚测量及普通样品三维形貌测量。
基本信息
专利标题 ：
一种线聚焦差动彩色共焦三维表面形貌测量系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020402442.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-25
授权号 ：
CN211876977U
授权日 ：
2020-11-06
发明人 ：
蒋威易定容孔令华叶一青朱星星
申请人 ：
宁波五维检测科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市鄞州区启明路655-77号
代理机构 ：
成都时誉知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王杰
优先权 ：
CN202020402442.X
主分类号 ：
G01B11/24
IPC分类号 ：
G01B11/24 G01B11/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2020-11-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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