高灵敏度长度测量干涉仪
专利权的终止未缴纳年费专利权终止
摘要

本实用新型提供了一种高灵敏度长度测量用的干涉仪,适合于测量长度、微小位移量。它是在G·W·stroke干涉仪上,增加了棱镜和平面反射镜。它在不需电子倍频装置的情况下,可使测量格值为任意值。通过增减棱镜的个数,满足不同测量灵敏度的要求。

基本信息
专利标题 :
高灵敏度长度测量干涉仪
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN86202036.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
1986-04-12
授权号 :
CN86202036U
授权日 :
1987-04-01
发明人 :
吴振华
申请人 :
北京光学仪器厂
申请人地址 :
北京市通县北京光学仪器厂
代理机构 :
北京仪器仪表专利事务所
代理人 :
王树政
优先权 :
CN86202036.0
主分类号 :
G01B9/02
IPC分类号 :
G01B9/02  G01B11/02  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/02
干涉仪
法律状态
1991-09-04 :
专利权的终止未缴纳年费专利权终止
1987-10-14 :
授权
1987-04-01 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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