一种白光干涉式激光位移计

授权

摘要

本实用新型公开了一种白光干涉式激光位移计，包括激光位移计外壳体，激光位移计外壳体左侧下方通过螺钉固定有防护罩，防护罩一侧固定有传感镜头，传感镜头一侧固定有偏振保持光纤，偏振保持光纤一侧固定有激光器，激光位移计外壳体左侧中部通过安装槽固定嵌入有滤光镜，滤光镜一侧固定有白光干涉镜组，白光干涉镜组一侧固定有分光器，分光器一侧固定有CCD器件，CCD器件一侧固定有处理器，安装板一侧通过螺钉固定有定位机构，该白光干涉式激光位移计，非接触式测量，测量高度可调节，白光干涉分辨率高、精度高。

基本信息

专利标题：

一种白光干涉式激光位移计

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920437193.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-04-02

授权号：

CN209783522U

授权日：

2019-12-13

发明人：

肖建平毛黎明

申请人：

江西正沃信息科技有限公司

申请人地址：

江西省南昌市南昌高新技术产业开发区火炬五路899高航大厦

代理机构：

北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

郑自群

优先权：

CN201920437193.5

主分类号：

G01B11/02

IPC分类号：

G01B11/02