一种新型的白光干涉仪结构
公开
摘要

本发明提供一种新型的白光干涉仪结构,包括第一驱动平台,在所述第一驱动平台上设置有白光发生单元、分束单元、信号采集单元,在第一驱动平台上还设置有反射单元,反射单元设置在分束单元后端,在第一驱动平台还设置有第二驱动平台,第二驱动平台设置有第一物镜、第二物镜以及参考镜,第一物镜和第二物镜平行设置,第一物镜上端与分束单元对应布置,第二物镜上端与反射单元对应布置,第二物镜下端与参考镜对应布置,待测物品设置在第一物镜下端。扫描时只需移动第二驱动平台即可进行待测物品高度方向上的测量,减轻了扫描系统的承重,解决了高精度扫描场合,负载过重问题,拓宽扫描系统的选择范围,拥有更高扫描精度的同时降低生产成本。

基本信息
专利标题 :
一种新型的白光干涉仪结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114593690A
申请号 :
CN202210286658.8
公开(公告)日 :
2022-06-07
申请日 :
2022-03-22
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
衣俊全袁芬芳周翔
申请人 :
深圳市鹰眼在线电子科技有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市龙岗区园山街道保安社区联合路13-1号1号厂房101
代理机构 :
北京惟盛达知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
陈钊
优先权 :
CN202210286658.8
主分类号 :
G01B11/24
IPC分类号 :
G01B11/24  G01B9/0209  G01B9/02015  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2022-06-07 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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