一种面阵点扫描分光白光干涉仪
授权
摘要
本发明涉及一种面阵点扫描分光白光干涉仪，SLD光源发射宽带光谱，光依次通过隔离器、光纤耦合器，光纤端出射光经过准直器进行准直，被准直光入射到分光棱镜，一束光反射经过第三透镜聚焦到反射镜作为参考臂，一束光入射到XY扫描振镜，由扫描振镜反射出具备一定视场角的光线入射到第四透镜，由第四透镜聚焦到样品实现面阵扫描。其中XY扫描振镜放置在第四透镜的物方焦平面位置，使得第四透镜聚焦光线为像方远心光路；其可以高速、简洁、高精度实现面阵扫描。
基本信息
专利标题 ：
一种面阵点扫描分光白光干涉仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112325765A
申请号 ：
CN202011148967.6
公开（公告）日 ：
2021-02-05
申请日 ：
2020-10-23
授权号 ：
CN112325765B
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
赵效楠王毅彭思龙汪雪林顾庆毅王一洁
申请人 ：
苏州中科全象智能科技有限公司;苏州中科行智智能科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道88号E1栋
代理机构 ：
北京精金石知识产权代理有限公司
代理人 ：
杨兰兰
优先权 ：
CN202011148967.6
主分类号 ：
G01B9/02
IPC分类号 ：
G01B9/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/02
干涉仪
法律状态
2022-04-05 ：
授权
2021-02-26 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 9/02
申请日 : 20201023
申请日 : 20201023
2021-02-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
