一种偏振相机差动白光干涉测量装置
公开
摘要
本发明公开了一种偏振相机差动白光干涉测量装置，白光光源发出的光经过可变光阑和第一透镜组后，到达分光棱镜组；分光棱镜组将入射光分为两束，一束经过第四透镜组后达到样品台，另一束在经过偏振分光棱镜后被分成p偏振光和s偏振光两路；p偏振光和s偏振光被反射后从偏振分光棱镜出射，并与从样品台反射回来的光在分光棱镜组处产生干涉；干涉光从分光棱镜组出射后到达由第二透镜组和偏振相机组成的单相机同步图像收集模块中，得到p偏振光和s偏振光的干涉图像；利用零光程差点实现对样品台上所放置待测样品的三维形貌测量。上述装置结构简单，增强了白光干涉仪光路的抗噪声能力，并提高了三维形貌恢复算法的精度。
基本信息
专利标题 ：
一种偏振相机差动白光干涉测量装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114608474A
申请号 ：
CN202210169938.0
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2022-02-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李杨张文喜王凯伍洲吕彤覃日康徐豪赵亚帅樊国翔
申请人 ：
中国科学院空天信息创新研究院
申请人地址 ：
北京市海淀区北四环西路19号
代理机构 ：
北京凯特来知识产权代理有限公司
代理人 ：
郑立明
优先权 ：
CN202210169938.0
主分类号 ：
G01B11/24
IPC分类号 ：
G01B11/24
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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