基于白光干涉及SPGD的亚毫米沟槽结构的测量方法

授权

摘要

本发明公开了一种基于白光干涉及SPGD的亚毫米沟槽结构的测量方法。包括：搭建白光干涉系统，利用白光干涉系统测量待测沟槽样品的结构，相机探测采集待测沟槽样品的等光程干涉图；进行灰度处理后获得沟槽灰度干涉图，计算沟槽灰度干涉图的对比度和高频信息量；随机生成多项式系数，利用SPGD算法对多项式系数进行迭代优化后，获得优化后的多项式系数；控制变形镜对光路光程进行补偿，移动变形镜或待测沟槽样品，相机采集获得一组光程补偿后的沟槽干涉图及每张沟槽干涉图对应的编号；使用重心法进行图像重建，获得待测沟槽样品的三维结构重建图。本发明实现对亚毫米级别高深宽比结构沟槽进行形貌检测，探测结构的深度可达到毫米级别。

基本信息

专利标题：

基于白光干涉及SPGD的亚毫米沟槽结构的测量方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN113607084A

申请号：

CN202110916532.X

公开（公告）日：

2021-11-05

申请日：

2021-08-11

授权号：

CN113607084B

授权日：

2022-05-17

发明人：

张可欣梁宜勇李国忠

申请人：

浙江大学

申请人地址：

浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号

代理机构：

杭州求是专利事务所有限公司

代理人：

林超

优先权：

CN202110916532.X

主分类号：

G01B11/24

IPC分类号：

G01B11/24