干涉共聚焦测量系统及测量方法

授权

摘要

本发明提供一种干涉共聚焦测量系统及测量方法，测量系统包括第一测量单元和第二测量单元，所述第一测量单元包括发出特定波长范围的宽光谱光源组件、第一分束镜、色散物镜、信号接收组件；所述第二测量单元包括单波长的激光光源、扩束镜、第二分束镜、移相器、反射镜、光电探测器、第三分束镜、位于色散物镜中心光轴上的光阑。本发明通过逐级测量，第一测量单元实现粗测，确定干涉级次；第二测量单元实现精测，保证单波长测量精度的同时，扩展了干涉共聚焦测量系统的工作范围。

基本信息

专利标题：

干涉共聚焦测量系统及测量方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN113587843A

申请号：

CN202110849407.1

公开（公告）日：

2021-11-02

申请日：

2021-07-27

授权号：

CN113587843B

授权日：

2022-05-27

发明人：

王建立糜小涛王之一杨永强明名陈宝刚张玉良陈琦

申请人：

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

申请人地址：

吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号

代理机构：

长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

高一明

优先权：

CN202110849407.1

主分类号：

G01B11/24

IPC分类号：

G01B11/24 G01B9/02