干涉测量系统的自动平衡方法
授权
摘要
本发明是一种干涉测量系统的自动平衡方法,其提供一光学影像干涉测量系统包括光源装置、物镜组、光束导引装置、影像撷取装置、逻辑演算控制单元以及对象平台,该对象平台具有多轴控制的平台且是选择具有两个正交的第一轴向与第二轴向转轴及其控制装置。其方法包括撷取装置撷取待测对象的光学信息且存储该光学信息;以光学信息中的干涉条纹方向做依据,进行对象平台的第一轴向的倾斜量调整,直到干涉条纹调整至所定义的正交方向,以消除第一轴向的倾斜量;以及以光学信息中的干涉条纹扩展方向做依据,进行对象平台之第二轴向的倾斜量调整,直到干涉条纹的纹间隔调整至展开最大,以消除第二轴向的倾斜量。
基本信息
专利标题 :
干涉测量系统的自动平衡方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1948893A
申请号 :
CN200510109002.5
公开(公告)日 :
2007-04-18
申请日 :
2005-10-13
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
廖界程林耀明张宏彰张维哲
申请人 :
致茂电子股份有限公司
申请人地址 :
中国台湾桃园县
代理机构 :
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 :
张敬强
优先权 :
CN200510109002.5
主分类号 :
G01B9/023
IPC分类号 :
G01B9/023 G01B11/24
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/02
干涉仪
G01B9/021
用全息照相技术的
G01B9/023
用于得出轮廓
法律状态
2008-11-26 :
授权
2007-06-13 :
实质审查的生效
2007-04-18 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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2、
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