用于干涉测量确定表面形状的测量设备
公开
摘要
一种用于干涉确定测试物(14)的表面(12)的形状的测量设备(10)包括：用于提供输入波(42)的辐射源；多重编码衍射光学元件(60)，其被配置为通过衍射从输入波生成测试波(66)和至少一个校准波(70)，该测试波指向测试物(14)且具有形式为自由形式表面的波前，其中，校准波的波前具有非旋转对称形状(68f)，其中，穿过校准波(70)的波前的横截面沿着相互横向对准的横截面区域在各个情况下具有弯曲形状，并且其中，各种横截面区域中的弯曲形状在开口参数方面不同。此外，测量设备包括检测装置(46)，用于检测通过将参考波(40)和在与校准物(74)相互作用后的校准波叠加而形成的校准干涉图。
基本信息
专利标题 ：
用于干涉测量确定表面形状的测量设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114467005A
申请号 ：
CN202080068894.1
公开（公告）日 ：
2022-05-10
申请日 ：
2020-09-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
S.舒尔特R.弗雷曼
申请人 ：
卡尔蔡司SMT有限责任公司
申请人地址 ：
德国上科亨
代理机构 ：
北京市柳沈律师事务所
代理人 ：
王蕊瑞
优先权 ：
CN202080068894.1
主分类号 ：
G01B9/02
IPC分类号 ：
G01B9/02 G01M11/00 G01M11/02 G02B5/08 G02B5/10 G02B5/18 G02B5/32
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B9/00
组中所列的及以采用光学测量方法为其特征的仪器
G01B9/02
干涉仪
法律状态
2022-05-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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