表面形状的测量装置

授权

摘要

本实用新型涉及一种表面形状的测量装置。测量装置包括固定机架、基准面、滑轨、滑块、检测装置、驱动装置、及位移传感器；检测装置包括活动支架及分别固定安装在活动支架上的成像透镜组、半透半反镜、第一分划板、第二分划板、面光源、以及面阵图像传感器；成像透镜组的光轴与基准面垂直设置；测量装置还包括计算处理装置。本实用新型不但量程更大，精度不受量程的影响，而且在进行小区域三维表面多点测量时，只需要做一维方向(垂直于基准面的方向)移动，工作效率更高。

基本信息

专利标题：

表面形状的测量装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922215277.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-11

授权号：

CN210981180U

授权日：

2020-07-10

发明人：

孙宏

申请人：

福州锐景达光电科技有限公司

申请人地址：

福建省福州市鼓楼区软件大道89号软件园B区6#楼三层

代理机构：

福州市众韬专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

陈智雄

优先权：

CN201922215277.7

主分类号：

G01B11/24

IPC分类号：

G01B11/24