物体形状测量装置和方法以及程序
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摘要
提供了用于测量透明物体的形状和厚度的装置和方法。本发明具有用于朝向透明物体输出光的光投射单元，用于接收传播通过透明物体的光的光接收传感器，以及用于分析光接收传感器的光接收元件的接收光信号的数据处理单元，光投射单元被配置成并行地输出来自多个光源的输出光，并且数据处理单元分析来自光接收传感器的光接收元件的接收光信号，并且使用存储在存储单元中的、与光接收信号值对应的光源组合信息指定输入到单个光接收元件的光的光源。此外，计算指示从光投射单元的每个光源输出的偏振光的状态的变化的穆勒矩阵，并且计算透明物体的前表面和后表面的形状。
基本信息
专利标题 ：
物体形状测量装置和方法以及程序
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111492198A
申请号 ：
CN201880080596.7
公开（公告）日 ：
2020-08-04
申请日 ：
2018-12-06
授权号 ：
CN111492198B
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
庄沱
申请人 ：
索尼公司
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
王萍
优先权 ：
CN201880080596.7
主分类号 ：
G01B11/24
IPC分类号 ：
G01B11/24 G01B11/06
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2022-05-03 ：
授权
2020-12-01 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/24
申请日 : 20181206
申请日 : 20181206
2020-08-04 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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